发明名称 THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0548096(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910197719 申请日期 1991.08.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 KANEKO YOSHIYUKI;TSUTSUI KEN;YAMAGUCHI MUNEAKI
分类号 H01L27/12;H01L27/146;H01L29/78;H01L29/786;H01L31/10 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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