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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING CASSETTE FOR SEMICONDUCTOR WAFER, AND CLEANING DEVICE FOR THE CASSETTE
摘要
申请公布号 JPH0547725(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910013248 申请日期 1991.02.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 OGURA TAKEISA
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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