| 发明名称 |
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0547335(A) |
申请公布日期 |
1993.02.26 |
| 申请号 |
JP19910321879 |
申请日期 |
1991.12.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TODOKORO HIDEO;FUKUHARA SATORU;ICHIHASHI MIKIO |
| 分类号 |
G01R31/302;H01J37/141;H01J37/143;H01J37/244;H01J37/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
