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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0547689(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910229696 申请日期 1991.08.16
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD 发明人 OKASE WATARU
分类号 H01L21/205;C23C16/46;C30B35/00;F27D11/02;H01L21/22;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/324 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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