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发明名称 METHODE ZUR UNTERSUCHUNG DER VERBINDUNG VON HALBLEITERPLAETTCHEN.
摘要
申请公布号 DE68904390(D1) 申请公布日期 1993.02.25
申请号 DE19896004390 申请日期 1989.10.04
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAKANO, MASAMI;ABE, TAKAO, ANNAKA-SHI GUNMA-KEN, JP
分类号 H01L21/02;G01N21/87;G01N23/18;G01N23/207;H01L21/18;H01L21/20;H01L21/66;(IPC1-7):G01N23/205 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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