发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR UEBERWACHUNG VON BIMORPHVERZERRUNGSDETEKTOREN.
摘要
申请公布号 DE3686281(T2) 申请公布日期 1993.02.25
申请号 DE19863686281T 申请日期 1986.03.10
申请人 SONY CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YOSHIHIRO, MITSUGU PATENTS DIVISION, SHINAGAWA-KU TOKYO 141, JP
分类号 G11B5/592;H01L41/04;H01L41/09;H04B17/00;(IPC1-7):G11B5/592 主分类号 G11B5/592
代理机构 代理人
主权项
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