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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0541459(A) 申请公布日期 1993.02.19
申请号 JP19910195386 申请日期 1991.08.05
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKAHASHI EIZABURO
分类号 H01L21/318;H01L21/314;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
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