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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0541380(A) 申请公布日期 1993.02.19
申请号 JP19910196246 申请日期 1991.08.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITO TAKAHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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