| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG124092(G) |
申请公布日期 |
1993.02.19 |
| 申请号 |
SG19920001240 |
申请日期 |
1992.12.09 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/40;H01L21/22;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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