发明名称 HALBLEITERANORDNUNG MIT EINER DUENNSCHICHT-VERDRAHTUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DERSELBEN.
摘要
申请公布号 DE3783405(D1) 申请公布日期 1993.02.18
申请号 DE19873783405 申请日期 1987.08.18
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 TAKASHI, KATO, SAGAMIHARA-SHI KANAGAWA, 228, JP;TANASHI, ITO, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 214, JP;MAEDA, MAMORU, TAMA-SHI TOKYO 206, JP
分类号 H01L21/3205;H01L23/532;H01L29/45;(IPC1-7):H01L23/52;H01L23/48;H01L21/60;H01L21/90 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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