| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM CLEANER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0489862(A4) |
申请公布日期 |
1993.02.17 |
| 申请号 |
EP19900914354 |
申请日期 |
1990.08.29 |
| 申请人 |
C.V.D. SYSTEM CLEANERS CORPORATION |
发明人 |
ALBRECHT, JOHN, WILLIAM |
| 分类号 |
B08B9/093;C23C16/44;F28D7/10;F28G1/16;(IPC1-7):B08B9/08 |
主分类号 |
B08B9/093 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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