| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING SILICON SINGLE-CRYSTAL RODS OF PRESET DIAMETER BY EMPLOYING CZOCHRALSKI METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CZ9202447(A3) |
申请公布日期 |
1993.02.17 |
| 申请号 |
CS19920002447 |
申请日期 |
1992.08.06 |
| 申请人 |
MEMC ELECTRONIC MATERIALS |
发明人 |
ROGER FEDERICK A. |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B15/20;C30B15/22;C30B15/30;C30B29/06;C30B30/04;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/20 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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