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发明名称 Method to form self-aligned gate structures and focus rings
摘要
申请公布号 US5186670(A) 申请公布日期 1993.02.16
申请号 US19920844369 申请日期 1992.03.02
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 DOAN, TRUNG T.;LOWREY, TYLER A.;CATHEY, DAVID A.;ROLFSON, J. BRETT
分类号 H01J9/02 主分类号 H01J9/02
代理机构 代理人
主权项
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