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发明名称 JIG FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL CRYSTAL GROWTH AND MANUFACTURE OF MULTI-COMPONENT SEMICONDUCTOR CRYSTAL USING THIS JIG
摘要
申请公布号 JPH0536732(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910187729 申请日期 1991.07.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITO MICHIHARU
分类号 C30B19/06;C30B29/46;H01L21/368 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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