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发明名称 ENTFERNEN VON RESISTSCHICHTEN.
摘要
申请公布号 DE3877085(D1) 申请公布日期 1993.02.11
申请号 DE19883877085 申请日期 1988.08.18
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 FUJIMURA, SHUZO C/O FUJITSU LIMITED;KONNO, JUNICHI C/O FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP
分类号 H01L21/302;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):C23F1/12;C23F1/02;G03F7/26;H01L21/306;H01L21/465 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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