发明名称 |
Radiation detector. |
摘要 |
Der in Dünnschichttechnik aufgebaute Strahlungsdetektor ist gekennzeichnet durch zwei plane Metallelektroden, von denen wenigstens eine aus einem Metall mit einer Ordnungszahl Z > 70 besteht, und eine zwischen den beiden Metallelektroden angeordnete Isolierschicht aus plasmaabgeschiedenem amorphem wasserstoffhaltigem Kohlenstoff (a-C:H) mit einem optischen Bandabstand >= 0,9 eV, die zu der aus einem Metall mit Z > 70 bestehenden Elektrode eine defektarme Grenzschicht mit ohmschen Kontakten bildet.
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申请公布号 |
EP0526817(A1) |
申请公布日期 |
1993.02.10 |
申请号 |
EP19920112709 |
申请日期 |
1992.07.24 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BIRKLE, SIEGFRIED, DR.;KAMMERMAIER, JOHANN, DR.;RITTMAYER, GERHARD, DR. |
分类号 |
G01T1/24;H01L31/0224;H01L31/115;H01L31/20 |
主分类号 |
G01T1/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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