发明名称 Radiation detector.
摘要 Der in Dünnschichttechnik aufgebaute Strahlungsdetektor ist gekennzeichnet durch zwei plane Metallelektroden, von denen wenigstens eine aus einem Metall mit einer Ordnungszahl Z > 70 besteht, und eine zwischen den beiden Metallelektroden angeordnete Isolierschicht aus plasmaabgeschiedenem amorphem wasserstoffhaltigem Kohlenstoff (a-C:H) mit einem optischen Bandabstand >= 0,9 eV, die zu der aus einem Metall mit Z > 70 bestehenden Elektrode eine defektarme Grenzschicht mit ohmschen Kontakten bildet.
申请公布号 EP0526817(A1) 申请公布日期 1993.02.10
申请号 EP19920112709 申请日期 1992.07.24
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BIRKLE, SIEGFRIED, DR.;KAMMERMAIER, JOHANN, DR.;RITTMAYER, GERHARD, DR.
分类号 G01T1/24;H01L31/0224;H01L31/115;H01L31/20 主分类号 G01T1/24
代理机构 代理人
主权项
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