发明名称 CLASSIFICATION OF HOLLOW PARTICLES AND SURFACE CLEANING
摘要
申请公布号 JPH0531397(A) 申请公布日期 1993.02.09
申请号 JP19910190055 申请日期 1991.07.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOKOUCHI KISHIO;KAMEZAKI HIROSHI
分类号 B03B7/00;H01L23/15 主分类号 B03B7/00
代理机构 代理人
主权项
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