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发明名称 ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH0528956(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910203160 申请日期 1991.07.20
申请人 NISSIN HIGH VOLTAGE CO LTD 发明人 TAKEYAMA KUNIHIKO;IWAMOTO EIJI
分类号 C23C14/48;G21K5/04;H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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