发明名称 CVD METHOD
摘要
申请公布号 JPH0529301(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910182127 申请日期 1991.07.23
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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