| 发明名称 |
PLASMA ETCHING METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0529275(A) |
申请公布日期 |
1993.02.05 |
| 申请号 |
JP19910207432 |
申请日期 |
1991.07.23 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
ABE MASATOSHI;OKUDAIRA SADAYUKI;KOMATSU HIDEO;ISHIDA TAKESHIGE |
| 分类号 |
C23F1/08;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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