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发明名称 ION SOURCE OF ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH0528940(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910161185 申请日期 1991.07.02
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SATO KATSUAKI
分类号 C23C14/48;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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