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发明名称
摘要
申请公布号
JPH058938(U)
申请公布日期
1993.02.05
申请号
JP19910055587U
申请日期
1991.07.18
申请人
发明人
分类号
C23C14/35;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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