发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0529604(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910324748 申请日期 1991.12.09
申请人 SHARP CORP 发明人 SAITO SATOSHI;NAKAMURA KAZUYO;ONISHI SHIGEO;SAKIYAMA KEIZO
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L29/41 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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