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发明名称 HALBLEITERSUBSTRATTRANSPORTARM INNERHALB EINER VORRICHTUNG ZUR BEARBEITUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE4215522(A1) 申请公布日期 1993.02.04
申请号 DE19924215522 申请日期 1992.05.12
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TANIGUCHI, TAKAO;SATO, HIROSHI, FUKUOKA, JP
分类号 B25J1/00;B65G47/90;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/687 主分类号 B25J1/00
代理机构 代理人
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