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发明名称 METHOD FOR INTERNAL GETTERING OF OXYGEN IN III-V COMPOUND SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 US5183767(A) 申请公布日期 1993.02.02
申请号 US19910655512 申请日期 1991.02.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BARATTE, HERVE;DE SOUZA, JOEL P.;SADANA, DEVENDRA K.
分类号 H01L21/265;H01L21/322 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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