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发明名称 MICROWAVE PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0521391(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910172330 申请日期 1991.07.12
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 INOUE TAKU
分类号 C23C16/50;C23C16/511;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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