发明名称 INSPECTING DEVICE FOR MEMORY INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0520897(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910174932 申请日期 1991.07.16
申请人 NEC CORP 发明人 SAKAINO HIROBUMI
分类号 G01R31/28;G11C29/00;G11C29/56 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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