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发明名称 CORE WIRE CONNECTING BRIDGE FOR POLYCRYSTALLINE SILICON MANUFACTURING APPARATUSES
摘要
申请公布号 EP0498887(A4) 申请公布日期 1993.01.27
申请号 EP19900915813 申请日期 1990.10.25
申请人 KOMATSU ELECTRONIC METALS CO., LTD 发明人 OHTSUKI, MINORU;MIYAMOTO, YUSUKE;NAGAI, KENICHI
分类号 C30B25/00;C01B33/029;C01B33/035;C23C16/46;C30B13/00;C30B28/12;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):C01B33/035 主分类号 C30B25/00
代理机构 代理人
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