发明名称 METHOD AND DEVICE FOR HETEROGENEOUS RECOMBINATION OF FREE ATOMS AND RADICALS ON THE SURFACE OF SOLID BODIES
摘要
申请公布号 RU1789912(C) 申请公布日期 1993.01.23
申请号 SU19904845446 申请日期 1990.06.04
申请人 MARIUPOLSKIJ METALL INSTITUT 发明人 ANDREEV IGOR R,SU;KABANSKIJ ALEKSANDR E,SU;POTASHNIK LYUDMILA S,SU
分类号 G01N21/62 主分类号 G01N21/62
代理机构 代理人
主权项
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