| 发明名称 |
ION BEAM IRRADIATION AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0513036(A) |
申请公布日期 |
1993.01.22 |
| 申请号 |
JP19910189211 |
申请日期 |
1991.07.03 |
| 申请人 |
ORIGIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TSUKAMOTO TETSUO;KOTOYORI MASAHIKO |
| 分类号 |
C23C14/48;G21K5/04;H01J37/30;H01L21/66 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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