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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0513591(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910164144 申请日期 1991.07.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KIRIYAMA SHUJI
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
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