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发明名称 SEMICONDUCTOR PHOTODETECTION DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0513797(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910166699 申请日期 1991.07.08
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 MATSUDA HIROSHI;ITO KAZUHIRO;NAGANO YUJI
分类号 H01L31/10 主分类号 H01L31/10
代理机构 代理人
主权项
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