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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 EP0513940(A3) 申请公布日期 1993.01.20
申请号 EP19920202432 申请日期 1989.03.01
申请人 BRITISH TELECOMMUNICATIONS PUBLIC LIMITED COMPANY 发明人 DUROSE, KENNETH
分类号 H01L21/302;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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