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发明名称 METHOD FOR DEPOSITION PRESERVING THE STRUCTURE OF THE DEPOSITED SUBSTANCE
摘要
申请公布号 BG51006(A1) 申请公布日期 1993.01.15
申请号 BG19880084042 申请日期 1988.05.06
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK- SECURA- WERKE BERLIN 发明人 SCHRECK, HANS-JOACHIM;SCHLOEZENER, MARTIN
分类号 C23C14/28;(IPC1-7):C23C14/28 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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