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发明名称
APPARAT UND VERFAHREN ZUM ENTFERNEN VON SEHR KLEINEN TEILCHEN AUS EINEM SUBSTRAT.
摘要
申请公布号
AT83580(T)
申请公布日期
1993.01.15
申请号
AT19880303551T
申请日期
1988.04.20
申请人
THE BOC GROUP, INC.
发明人
WHITLOCK, WALTER H.;WELTMER, WILLIAM R., JR.;CLARK, JAMES D.
分类号
B08B3/02;B24C1/00;C01B31/22;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
B08B3/02
代理机构
代理人
主权项
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