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发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE PROVIDED WITH GROOVE FILLING STEP
摘要
申请公布号
JPH056935(A)
申请公布日期
1993.01.14
申请号
JP19910029661
申请日期
1991.01.30
申请人
SONY CORP
发明人
SATO JUNICHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/76
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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