发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH056696(A) 申请公布日期 1993.01.14
申请号 JP19910006427 申请日期 1991.01.23
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK 发明人 OSHIMA SHIGEO;IGAWA TATSUO
分类号 B23F5/02;B23F23/00;B23F23/12;G11C7/10;G11C11/401;G11C11/41;G11C29/00;G11C29/02;G11C29/04;G11C29/14;G11C29/20;G11C29/56 主分类号 B23F5/02
代理机构 代理人
主权项
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