| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR SUBSTRATE HEATING UTILIZING VARIOUS INFRARED MEANS TO ACHIEVE UNIFORM INTENSITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5179677(A) |
申请公布日期 |
1993.01.12 |
| 申请号 |
US19910651668 |
申请日期 |
1991.02.06 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
ANDERSON, ROGER N.;DEACON, THOMAS E.;CARLSON, DAVID K. |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/48;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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