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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH053140(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19900286522 申请日期 1990.10.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HAYASHI KAZUO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/28 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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