发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH053209(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19910245650 申请日期 1991.09.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 HIDAKA YOSHIHARU;HATA YOSHIFUMI;MITSUSHIMA TAKESHI;ITOU MARIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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