发明名称 FILM TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH053319(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19910178894 申请日期 1991.06.25
申请人 CANON INC 发明人 TSUDA HISANORI
分类号 H01L21/314;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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