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发明名称 FOERDERVORRICHTUNG FUER STAPELBARE SCHEIBEN IN KASSETTEN.
摘要
申请公布号 DE3872985(T2) 申请公布日期 1993.01.07
申请号 DE19883872985T 申请日期 1988.08.08
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL, PARIS, FR 发明人 CRUZ, DIDIER, F-38000 GRENOBLE, FR;DAVAL, JACQUES, F-38240 MEYLAN, FR;LAZZARI, JEAN-PIERRE, F-38400 CORENC, FR
分类号 H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68;B65G51/03;H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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