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发明名称 Method of fabricating an ultra-thin active region for high speed semiconductor devices
摘要
申请公布号 US5177025(A) 申请公布日期 1993.01.05
申请号 US19920825524 申请日期 1992.01.24
申请人 HEWLETT-PACKARD COMPANY 发明人 TURNER, JOHN E.;KAMINS, THEODORE I.;SCOTT, MARTIN P.;KELLER, YVONNE H.
分类号 H01L29/73;H01L21/22;H01L21/285;H01L21/331;H01L21/74;H01L29/161;H01L29/737 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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