发明名称 POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM AND TRANSISTOR USING THE SAME
摘要
申请公布号 US5177578(A) 申请公布日期 1993.01.05
申请号 US19900574865 申请日期 1990.08.30
申请人 TONEN CORPORATION 发明人 KAKINOKI, HISASHI;NAGAHARA, TATSURO;FUKUI, KEITARO
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/324;H01L21/336;H01L21/84;H01L29/04;H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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