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发明名称 METHOD OF MAKING INTEGRAL SILICON MECHANICAL-ELECTRICAL CONVERTERS
摘要
申请公布号 RU1783595(C) 申请公布日期 1992.12.23
申请号 SU19914905339 申请日期 1991.01.28
申请人 MO INZHENERNO-FIZICHESKIJ INSTITUT 发明人 VAGANOV VLADIMIR I,SU;PRYAKHIN GENNADIJ D,SU
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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