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发明名称 LIQUID PHASE GROWTH AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH04367587(A) 申请公布日期 1992.12.18
申请号 JP19910170501 申请日期 1991.06.14
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 YAMADA MASAHITO;TAKENAKA TAKUO;ENDO MASAHISA
分类号 C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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