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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIG DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04365327(A) 申请公布日期 1992.12.17
申请号 JP19910141596 申请日期 1991.06.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OSADA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/225;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
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