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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04364757(A) 申请公布日期 1992.12.17
申请号 JP19910140124 申请日期 1991.06.12
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKITA YOSHIHISA
分类号 H01L21/76;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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