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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04365865(A) 申请公布日期 1992.12.17
申请号 JP19910142031 申请日期 1991.06.13
申请人 RICOH CO LTD 发明人 SATO TATSUYA;OTA WASABURO
分类号 C23C14/28;C23C14/32;C23C14/54 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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