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发明名称 FILM FORMING GAS SUPPLY EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH04363130(A) 申请公布日期 1992.12.16
申请号 JP19910052709 申请日期 1991.03.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MITSUI AKIRA
分类号 B01J4/00;C23C14/56;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
主权项
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